单晶炉滤筒是由一定长度的挺括的滤料折叠成褶收尾粘合而成的星形过滤筒滤筒。
单晶炉生产运行过程中,在炉体内部必须保证一定的真空,才能保证单晶硅的生长,同时必须通入氩气进行保护,这样就必须保证连续不断的进行抽真空
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